工业用计算机断层成像技术简称工业CT,在不破坏样品的情况下,利用X射线或γ射线探测物体内部三维结构和形貌信息。
多应用于晶圆检测、BGA检测、PCB检测、虚焊检测、IC检测、锂电池检测;
可进行无损孔洞测量、无损裂纹检测,无损失效分析,芯片面扫分析等(精度≤800nm)。
工业CT(industrial computerized tomography)是指应用于工业中的核成像技术。其基本原理是依据辐射在被检测物体中的减弱和吸收特性。同物质对辐射的吸收本领与物质性质有关。所以,利用放射性核素或其他辐射源发射出的、具有一定能量和强度的X射线或γ射线,在被检测物体中的衰减规律及分布情况,就有可能由探测器陈列获得物体内部的详细信息,最后用计算机信息处理和图像重建技术,以图像形式显示出来。
检测领域:
汽车材料及零部件、金属材料、塑胶材料、模具、轨道交通、电子电器、医疗器械、航空航天、科研院所、军工国防等。
工业应用:
工业CT现有X射线断层扫描(XCT)、康普顿散射断层扫描(CST)、穆斯堡尔效应断层扫描(MCT)等。主要应用于工业在线过程的实时检测和大型工业部件的探查。工业CT与传统的X射线探伤和超声波探伤相比,具有空间分辨率高、无损检测、速度快等特点,因而在工业产品的检测中具有其他方法无可取代的作用。在实时检测方面,可用于在线检测热轧无缝钢管中的气孔、划痕、裂缝、分层等各种缺陷,同时给出钢管的壁厚、同心度、单位长度的重量等;亦可用于发电设备的实时检测。在大型部件检测方面,特别适用于火箭、核燃料元件、弹药、飞机发动机等的无损检测。大型工业CT的主要技术指标大约为待测物体直径1—2.5米,有效扫描高度2—8米,最大承重可达数十吨,空间分辨率为1线对/毫米,密度分辨率0.5%,裂纹分辨0.05毫米×15毫米,扫描时间每层3分钟,图像重建时间6秒,工作台平移空位精度0.02毫米,工作台旋转空位精度10角秒。所用的辐射装置可用X射线机、加速器,亦可用60Co、137Cs或192Ir的γ射线源。
项目案例
螺纹缺陷检测
工业CT在管道模拟方面的作用
管道模拟
样品要求
1. 最大扫描尺寸410 x 460 mm;
2. 最大样品尺寸 800 x 500 mm;
3. 样品及测试要求不同,送样有所区别,具体请与技术经理沟通。